ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ความแม่นยำระดับไมครอน-ไม่ใช่ความหรูหรา-แต่เป็นพื้นฐาน ส่วนประกอบที่ใช้ในระบบการจัดการเวเฟอร์, ห้องแกะสลัก, และเครื่องมือถ่ายภาพหินจำเป็นต้องความคลาดเคลื่อนมิติมักจะต่ำกว่า 5 ไมครอน วิธีการตัดเฉือน CNC แบบดั้งเดิมประสบปัญหาในการตอบสนองความต้องการดังกล่าวโดยไม่มีการควบคุมกระบวนการและมาตรวิทยาแบบพิเศษ
ความท้าทาย: เมื่อไมครอนมีความสำคัญ
ส่วนประกอบเซมิคอนดักเตอร์ต่างจากชิ้นส่วนอุตสาหกรรมทั่วไปตรงที่:
บำรุงรักษาความเรียบและความเท่าเทียมมาก
มีการจัดตำแหน่งและระยะห่างของรูที่แม่นยำ
ทำให้มั่นใจข้อบกพร่องพื้นผิวน้อยที่สุดที่อาจส่งผลกระทบต่อประสิทธิภาพสุญญากาศหรือการมองเห็น
แม้แต่การเบี่ยงเบนเพียงเล็กน้อยก็สามารถนำไปสู่:
การวางแนวที่ไม่ตรงระหว่างการถ่ายโอนเวเฟอร์
การสูญเสียความแม่นยำในการฉายภาพโฟโตมาสก์
การสูญเสียผลผลิตเนื่องจากการปนเปื้อนหรือการเบี่ยงเบนทางเรขาคณิต
ตัวอย่างของโลก-จริง: กรอบเครื่องมือการพิมพ์หิน
ในโครงการหนึ่งที่เกี่ยวข้องกับการกรอบอลูมิเนียมน้ำหนักเบาสำหรับระบบการพิมพ์หินด้วยแสงความอดทนต่ำกว่า 5 μmจำเป็นบนพื้นผิวการติดตั้งเพื่อให้แน่ใจว่าการวางแนวการวางซ้อนที่สมบูรณ์แบบของรูปแบบชิป
เพื่อให้บรรลุเป้าหมายนี้ เราใช้:
เครื่องจักรกลซีเอ็นซี 5 แกนพร้อมการชดเชยความร้อน
การควบคุมสปินเดิลความเร็วต่ำ- สูง-
การตรวจสอบมิติและลูปป้อนกลับแบบเรียลไทม์-
หากไม่มีความแม่นยำดังกล่าว การเลื่อนเพียง 10 μm อาจบิดเบือนการจัดตำแหน่งมาสก์และลดผลผลิตชิป- ส่งผลให้ลูกค้าต้องหยุดทำงานและสูญเสียวัสดุอย่างมาก
กระบวนการของเราที่บีเชน พรีซิชั่น
เราให้บริการ OEM เซมิคอนดักเตอร์ด้วย:
การกัดและการกลึง CNC ที่แม่นยำเป็นพิเศษ- (ความสามารถในการทำซ้ำ ±2~5μm)
Ra น้อยกว่าหรือเท่ากับ 0.2μm การตกแต่งพื้นผิวสำหรับการปิดผนึกที่สำคัญหรือโซนแสง
คลีนรูม-บรรจุภัณฑ์ที่เข้ากันได้
การตรวจสอบ CMM และการสแกนด้วยเลเซอร์พร้อมรายงานที่ตรวจสอบย้อนกลับได้
ทีมงานของเราเข้าใจดีว่าวิกฤตของทุกไมครอน-และสนับสนุนด้วยประสบการณ์ในการให้บริการทั้งด้านการวิจัยและพัฒนาและสภาพแวดล้อมการผลิตที่มีปริมาณสูง-ผสมต่ำ-
ทำไมมันถึงสำคัญ
ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ เรขาคณิตคือทุกสิ่งทุกอย่าง การบิดเบี้ยว การวางแนวที่ไม่ถูกต้อง หรือเสี้ยนอาจส่งผลให้เกิด:
การบิดเบือนรูปแบบ
ข้อผิดพลาดในการจัดการเวเฟอร์
ระบบสูญญากาศขัดข้อง
การตัดเฉือนที่แม่นยำไม่ได้เป็นเพียงเรื่องของพิกัดความเผื่อที่จำกัดเท่านั้น-แต่ยังเกี่ยวกับการรับประกันอีกด้วยฟังก์ชั่นและความน่าเชื่อถือของอุปกรณ์การผลิตชิปรุ่นต่อไป-
