ในโลกของการผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์คุณภาพพื้นผิวไม่ใช่แค่ความสวยงามเท่านั้น-แต่ยังเกี่ยวกับฟังก์ชัน อายุการใช้งานที่ยาวนาน และความแม่นยำอีกด้วย- ส่วนประกอบต่างๆ เช่น หัวจับเวเฟอร์ เมาท์เลนส์ และตัวกั้นที่แม่นยำ ไม่เพียงแต่ต้องเป็นไปตามความคลาดเคลื่อนของขนาดเท่านั้น แต่ยังต้องตรงตามข้อกำหนดด้วยข้อกำหนดการตกแต่งพื้นผิวที่รุนแรงมักจะอยู่ด้านล่างรา 0.1 ไมโครเมตร.
ทำไมนาโนเมตร-การตกแต่งระดับพื้นผิวจึงมีความสำคัญ
อุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ประสิทธิภาพสูง-ต้องอาศัยความแม่นยำในการสัมผัสและความเข้ากันได้ของห้องคลีนรูมเป็นอย่างมาก ความหยาบของพื้นผิวที่เกินเกณฑ์นาโนเมตรสามารถ:
รบกวนด้วยความแม่นยำของการวางเวเฟอร์
เพิ่มขึ้นแรงเสียดทานและการสึกหรอระหว่างการเคลื่อนไหว
สาเหตุการกระจายสัญญาณแสงส่งผลกระทบต่อการถ่ายภาพหิน
สร้างกับดักอนุภาค,เพิ่มความเสี่ยงในการปนเปื้อน
ตัวอย่างเช่น กแหวนรองรับเวทีเวเฟอร์ที่มีความหยาบของพื้นผิวสูงกว่าข้อกำหนดเฉพาะอาจทำให้เกิดการสั่นไหวเล็กน้อย- ส่งผลให้ความแม่นยำของตำแหน่งลดลงและทำให้ผลผลิตลดลง
ความท้าทายด้านเครื่องจักร CNC
การเข้าถึงพื้นผิวสำเร็จที่ Ra น้อยกว่าหรือเท่ากับ 0.1 μm นั้นเหนือกว่ากระบวนการ CNC มาตรฐานทั่วไปมาก เครื่องมือและพารามิเตอร์แบบเดิมๆ มักจะทิ้ง-รอยขีดข่วนเล็กๆ เครื่องหมายการตัดเฉือน หรือความเค้นตกค้าง- ซึ่งทั้งหมดนี้เป็นสิ่งที่ยอมรับไม่ได้ในสภาพแวดล้อมแบบเซมิคอนดักเตอร์
แนวทางของเราในด้านคุณภาพระดับนาโนเมตร-
ที่บีเชน พรีซิชั่นเราได้พัฒนาขั้นตอนการทำงานของเครื่องจักรโดยเฉพาะสำหรับการใช้งานที่ละเอียดอ่อนของพื้นผิว-:
การใช้เครื่องมือคาร์ไบด์เกรนละเอียดพิเศษ-ด้วยรูปทรงเรขาคณิตที่กำหนดเอง
แผ่นขัดเงารวมเข้ากับเส้นทางเครื่องมือสุดท้าย
ระบบควบคุมน้ำหล่อเย็นเพื่อหลีกเลี่ยงความร้อน-ทำให้เกิดน้ำตาเล็กๆ-
ประสานงานกับCMM และอินเทอร์เฟอโรมิเตอร์แสงสีขาว-เพื่อตรวจสอบความหยาบ
แต่ละชิ้นส่วนผ่านการตรวจสอบหลายขั้นตอน- ไม่เพียงแต่สำหรับความคลาดเคลื่อนของขนาดเท่านั้น แต่ยังรวมถึงด้วยความสม่ำเสมอของพื้นผิวต่ำกว่า-ไมครอนบนระนาบสัมผัสทั้งหมด
กรณีจริง: กระจกเงา-แผ่นรองรับเวเฟอร์สำเร็จรูป
ลูกค้าต้องการแผ่นเวเฟอร์อลูมิเนียมที่มีพื้นผิวดีกว่ารา 0.05 ไมโครเมตรสม่ำเสมอตลอดทั้งโคม ด้วยการใช้เทคนิคการตกแต่งความเร็วสูง-ที่ปรับให้เหมาะสมและกลยุทธ์การขัดเงาแบบกำหนดเอง เราได้ส่งมอบส่วนประกอบที่เกินข้อกำหนดเฉพาะ-ให้พร้อมสำหรับการประกอบระดับ EUV{3}} ในห้องปลอดเชื้อ
อย่าปล่อยให้การตกแต่งพื้นผิวบ่อนทำลายระบบของคุณ
ความไม่สมบูรณ์แบบของพื้นผิวในระดับนาโนสามารถส่งผลต่อกลไกที่แม่นยำที่สุดของคุณได้อย่างเงียบๆ หากใบสมัครของคุณต้องการผิวเคลือบเกรดออปติคอล-, หรือประสิทธิภาพการเสียดสีที่เหนือกว่า, พูดคุยกับเรา เราจะช่วยให้แน่ใจว่าชิ้นส่วนของคุณตรงตามทั้งสองอย่างความอดทนและเนื้อสัมผัส.
