กรณีศึกษา: ความก้าวหน้าในการประมวลผลซับสเตรตแก้วควอตซ์
วัตถุที่กำลังประมวลผล: สารตั้งต้นแก้วควอตซ์สำหรับการพิมพ์หินด้วยแสง
ข้อมูลจำเพาะ:
วัสดุ: แก้วควอทซ์ความบริสุทธิ์สูง-สูง 99.99%
คุณสมบัติการประมวลผล: ลบมุม C0.2 สอง-ด้าน + ผนังด้านข้างแนวตั้ง
ข้อกำหนดพื้นผิว: Ra < 150nm (เกรดกระจก)
ขนาด: 145×145×5.5มม.±0.01มม
การวิเคราะห์จุดเจ็บปวดในการประมวลผลของอุตสาหกรรม
เนื่องจากเป็นวัสดุสิ้นเปลืองหลักของอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ชิ้นส่วนควอตซ์สำหรับการพิมพ์หินด้วยแสงจึงต้องเป็นไปตามมาตรฐานที่เข้มงวดสามประการในเวลาเดียวกัน: การส่งผ่านวัสดุ > 99.6%, ความคลาดเคลื่อนของขนาด ±10μm และความหยาบของผนังด้านข้าง Ra < 150nm วิธีการประมวลผลแบบดั้งเดิมใช้กระบวนการเจียรล้อเจียรซึ่งมีปัญหาทางอุตสาหกรรมที่สำคัญสองประการ:
คอขวดประสิทธิภาพ: การประมวลผลชิ้นเดียว-ใช้เวลาสูงสุด 120 นาที
ข้อบกพร่องพื้นผิว: residual grinding wheel pattern leads to Ra value>560 นาโนเมตร
การสูญเสียเครื่องมือ: อายุการใช้งานเครื่องมือธรรมดาน้อยกว่า 50 ชิ้น
บีเชนนวัตกรรมเทคโนโลยีโซลูชั่น
เมื่อพิจารณาถึงคุณลักษณะที่แข็งและเปราะของวัสดุควอตซ์ ซึ่งเป็นวัสดุผสมโซลูชันการประมวลผลถูกนำมาใช้:
• ระบบแกะสลักและกัดด้วยความแม่นยำอัลตราโซนิก 20kHz
• หัวกัดใบมีดไมโคร PCD แบบรวม- (ขอบ R0.05 มม.)
• กระบวนการตัดเป็นชั้นตามแนวแกน (2μm ต่อชั้น)
การเปรียบเทียบข้อดีของการประมวลผลที่วัดได้
ด้วยการตรวจสอบและเปรียบเทียบกระบวนการ ตัวบ่งชี้สำคัญได้รับการปรับปรุงอย่างมีนัยสำคัญ:
มูลค่าการใช้งานทางอุตสาหกรรม
โซลูชันนี้แก้ไขปัญหาการประมวลผล "คอขวด" ในกระบวนการจำกัดตำแหน่งของชิ้นส่วนเครื่องจักรการพิมพ์หินได้สำเร็จ โดยเพิ่มกำลังการผลิตซับสเตรตควอตซ์จาก 10 ชิ้นต่อวันเป็น 50 ชิ้น และอัตราคุณสมบัติการประมวลผลจาก 63% เป็น 98.5% จากการตรวจจับของเลเซอร์อินเทอร์เฟอโรมิเตอร์ Zeiss ค่า PV ความแม่นยำของพื้นผิวในการประมวลผลจะอยู่ที่<λ 10="" (λ="632.8nm)," which="" meets="" the="" qualified="" assembly="" standards="" of="" optical="">
เกี่ยวกับบีเชน
บีเชน พรีซิชั่นเชี่ยวชาญด้านการประมวลผลชิ้นส่วนฮาร์ดแวร์ที่มีความแม่นยำ ด้วยเวิร์กช็อปมาตรฐานขนาด 7,500 ตารางเมตร และบริการครอบคลุมการบินและอวกาศ อุปกรณ์ทางการแพทย์ หุ่นยนต์อุตสาหกรรม และสาขาอื่นๆ ด้วยความสามารถในการประมวลผลชิ้นส่วนโครงสร้างที่ซับซ้อนและการรับรองระบบ ISO ทำให้ลูกค้าได้รับโซลูชันกระบวนการครบวงจร- ตั้งแต่การออกแบบและการพัฒนาไปจนถึงการผลิตจำนวนมาก
