ในด้านการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ความแม่นยำในการประมวลผลของเบ้าหลอมกราไฟท์ที่เป็นวัสดุสิ้นเปลืองหลักส่งผลโดยตรงต่อความเสถียรของการทำงานของอุปกรณ์ กรณีทั่วไปของการประมวลผลที่ได้รับมอบหมายจากองค์กรเมื่อเร็วๆ นี้เผยให้เห็นทิศทางการพัฒนาที่สำคัญในด้านการประมวลผลความแม่นยำของกราไฟท์ในปัจจุบัน
【กำลังประมวลผลบันทึกคดี 】
ข้อมูลจำเพาะของผลิตภัณฑ์:
วัสดุ: กราไฟท์ความหนาแน่นสูง- (ความหนาแน่น 1.78g/cm³)
ข้อกำหนดในการประมวลผล: การกัดผิวสามมิติแบบโพรง-
ขนาดสินค้าสำเร็จรูป: 216×34×49มม. (ความคลาดเคลื่อน ±0.02มม.)
ความหยาบผิว: Ra น้อยกว่าหรือเท่ากับ0.8μm
ความท้าทายในการประมวลผล:
กระบวนการแบบเดิมใช้เวลานานเกินไป (4 ชั่วโมงสำหรับชิ้นเดียว)
ฝุ่นกราไฟท์ทำให้เกิดการสึกหรอของรางนำ (อายุการใช้งานของอุปกรณ์น้อยกว่า 3,000 ชั่วโมง)
พื้นผิวโค้งมีแนวโน้มที่จะเกิดข้อบกพร่องที่มุมยุบ (อัตราการชำรุดมากกว่าหรือเท่ากับ 15%)
【การวิเคราะห์จุดเจ็บปวดในอุตสาหกรรม】
ในด้านการประมวลผลชิ้นส่วนกราไฟท์แบบเซมิคอนดักเตอร์ โดยทั่วไปบริษัทต่างๆ ต้องเผชิญกับปัญหาหลักสามประการ:
• ความสามารถในการแข่งขันต่ำและคำหลักที่มีปริมาณการค้นหาสูง: โซลูชันการควบคุมฝุ่นในกระบวนการผลิตกราไฟท์, กระบวนการกัดด้วยกราไฟท์ที่มีความแม่นยำ, เทคโนโลยีการปรับสภาพพื้นผิวของชิ้นส่วนกราไฟท์, การปรับแต่งชิ้นส่วนกราไฟท์แบบเซมิคอนดักเตอร์, ระบบป้องกันเครื่องมือของเครื่องจักรในการประมวลผลด้วยกราไฟท์, การประมวลผลโพรงกราไฟท์ที่มีความแม่นยำสูง-
• ต้นทุนการดำเนินงานและบำรุงรักษาอุปกรณ์สูง: เครื่องมือกลธรรมดาจำเป็นต้องเปลี่ยนตลับลูกปืนสปินเดิลโดยเฉลี่ยทุกๆ 3 เดือนในระหว่างการประมวลผลกราไฟท์
• คอขวดประสิทธิภาพการประมวลผล: สำหรับการเพิ่มประสิทธิภาพการประมวลผลแบบเดิมทุกๆ 10% อัตราการสูญเสียเครื่องมือจะเพิ่มขึ้น 35%
【บีเชนแนวทางปฏิบัติที่เป็นนวัตกรรมใหม่】
สำหรับกล่องใส่ตัวอย่างกราไฟท์นี้ มีการใช้เทคโนโลยีหลักสามประการ:
ระบบตัดด้วยการสั่นสะเทือนอัลตราโซนิก
การสั่นสะเทือนระดับไมโคร-ความถี่สูง 20kHz
แรงตัดลดลง 40-60%
โซลูชันบูรณาการตัวจับยึดเครื่องมืออัลตราโซนิคแบบหดตัวด้วยความร้อน-
การหนีศูนย์ของเครื่องมือ น้อยกว่าหรือเท่ากับ 0.005 มม
เวลาเปลี่ยนเครื่องมือสั้นลง 70%
ระบบป้องกันฝุ่นห้า-ชั้น
อายุการใช้งานของส่วนประกอบหลักของเครื่องมือกลเพิ่มขึ้น 3 เท่า
การเปรียบเทียบผลการดำเนินงาน:
